金山科研平台现货促销

COSMOS新宇宙 气体检测装置 PS-7 固定式半导体材料气体检测单元

COSMOS新宇宙 气体检测装置 PS-7 固定式半导体材料气体检测单元

金山科研平台现货促销特征

带传感器单元更换方法的固定式半导体材料气体检测单元

交付了经过校准的传感器单元，可以在现场更换，从而无需进行现场气体校准。

兼容NF3检测

兼容Modbus (RS-485/以太网) (PS-7-M) *以太网通讯支持PoE

符合CE和SEMI标准

金山科研平台现货促销目的

用于半导体工厂的半导体材料气体泄漏检测

◆便携式（可更换传感器单元）半导体材料气体检测单元　XPS-7II

◆便携式半导体材料气体检测仪　XP-703DIII

◆无线转换器，使信号布线无线化　WC-7L

金山科研平台现货促销规格

目标气体检测原理抽气法检测范围警报尺寸大量的使用温度和湿度范围使用电源能量消耗外部输出

半导体材料气体、氢气、氧气

半导体材料气体：恒电位电解式氢气：热线式半导体式氧气：原电池式

自动吸风式

取决于规格

[报警设定值]取决于规格[报警方式]红色 LED 灯闪烁LCD 屏幕 第一阶段：ALARM1 第二阶段：ALARM1、ALARM2 显示

W62 x H124 x D143mm（不包括选件和突出部分）

约1.0公斤

0°C 至 40°C（无突变）、30 至 85%RH（无凝结）

DC24V±10%

约7W

・气体浓度模拟输出 DC4-20mA（与电源共负）・气体警报接点（第 1 级、第 2 级） 1a 无电压接点/自动返回・故障警报接点（集电极开路/自动返回）